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製品案内

ヘリウムリークディテクター

ヘリウムリークディテクター

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ヘリウムリークディテクターを搭載。
ニーズに合ったシステムをカスタマイズ

特徴

高感度の漏れ検査に適し、ヘリウムをワークに吹き付けるか又は加圧し、漏れるヘリウムを検出する。
ヘリウム検出用のセンサの原理を図1に示す。フィラメントから陽極へ流れる電子流の中へガス分子が入ると、分子はイオン化する。近くに一の電位をもった集イオン電極を置くと、イオンが流れ込み電流が流れる。ここに地場を与えると、イオンは質量mとイオン個数eとの比m/eも値によってそれぞれ異なった半径の円弧を描いて流れる。したがってヘリウムの1価のイオンだけが流れるように集イオン電極の位置を決めると、他のガスのイオンに関係なくヘリウムだけを検出できる。このヘリウムイオンの検出部をダイアトロンという。

ダイアトロンは通常10-5Torr以上の高真空に保たなければならない。普通はワーク毎真空に引いて使用する。短時間で検出する必要がある場合は、図2のように大容量の補助排気ポンプを置いて、ワークを排気してから、リークディデクターのほうへ接続する。ヘリウムの濃度検出感度は0.1ppm位であり、最小洩れ検出量は、使用条件によって大幅に変わってくるが約10-10cc/s程度まで検出可能と思われる。洩れ検査装置としては、最も高感度の装置である。


ヘリウムリークコントローラ

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特徴

ヘリウムリークディテクターのリモートコントロールが出来ます。スタートスイッチを押すだけで、ヘリウムの給排気、NG判定及びクリーニングまでをフルオートで行う事が出来ます。

仕様
電源 AC-100V
試験圧力 各種
入出力 スタート、ストップ、NG等
その他 ユーザーのニーズに合ったコントロール方式をカスタマイズ可能。